本發(fā)明涉及一種化學(xué)腐蝕廢液的回收處理方法和系統(tǒng),所述方法采用
電解技術(shù)與離子交換膜技術(shù)相結(jié)合實現(xiàn)硅晶片的堿腐蝕廢液的回收利用。本發(fā)明所涉及的回收處理方法可以減少堿腐蝕液的消耗,避免大量廢水的排放,從而做到降低生產(chǎn)成本,節(jié)約能源,保護環(huán)境,同時本發(fā)明的回收處理系統(tǒng)操作簡單,回收處理系統(tǒng)幾乎可實現(xiàn)零污染排放。
聲明:
“硅晶片堿腐蝕廢液的回收處理方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)