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單晶壓電薄膜及其制備方法

657 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 00:27:26

本申請公開了一種單晶壓電薄膜及其制備方法，包括對單晶壓電襯底的加工表面進行第一退火處理，以在加工表面形成鈍化層；單晶壓電襯底為鈮酸鋰；從加工表面對單晶壓電襯底進行離子注入處理，使得單晶壓電襯底內形成壓電薄膜層與損傷層，得到包括壓電薄膜層的單晶壓電襯底；采用清洗劑進行清洗處理，得到清洗后的單晶壓電襯底；將清洗后的單晶壓電襯底沿加工表面與支撐襯底鍵合，得到鍵合結構；對鍵合結構進行剝離處理，使鍵合結構沿損傷層分離，得到單晶壓電薄膜。本申請通過在單晶壓電襯底表面形成鈍化層，能夠有效避免壓電薄膜層在制備過程中被腐蝕，降低制備工藝的復雜度，提升產品厚度的準確性與均勻性，提升產品良率。

聲明：

“單晶壓電薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)