本發(fā)明具體涉及一種濕電子化學(xué)的硅基材料蝕刻液，按重量份數(shù)計(jì)，包括以下組分：甲基磺酸25?45份；氟化物10?30份；水溶性酸30?60份；絡(luò)合劑05?9.5份；潤(rùn)濕劑0.5?3.5份；水余量至總量100份；其中，所述水溶性酸包括硝酸、硫酸、磷酸、高氯酸、亞磺酸、甲酸、乙酸、檸檬酸、異檸檬酸、及乙醇酸中的至少一種；所述氟化物包括三氟甲磺酸、氟化鈉、氟化氫鈉、氟化銨、氟化氫銨、氟硼酸銨、氟化鉀、氟化氫鉀、氟化鋁、氟硼酸、氟化鋰、氟硼酸鉀及氟化鈣中的至少一種。所述濕電子化學(xué)的硅基材料蝕刻液能夠?qū)杌暹M(jìn)行安全、穩(wěn)定、高效的蝕刻，并能夠很好的解決蝕刻過(guò)程中產(chǎn)生的難溶性副產(chǎn)物問(wèn)題且生產(chǎn)過(guò)程工業(yè)安全的風(fēng)險(xiǎn)較低，廢水處理程序上所需的成本降低。