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高純氧化亞氮在制備太陽(yáng)能電池片中的應(yīng)用

1022   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:27:25
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了高純氧化亞氮在制備太陽(yáng)能電池片中的應(yīng)用,包括以下步驟:對(duì)氧化亞氮原料氣進(jìn)行壓縮后,依次經(jīng)活化后的13X?APG分子篩、4A分子篩、改性分子篩吸附除雜,獲得高純氧化亞氮;所述改性分子篩為負(fù)載有金屬氧化物的分子篩,所述金屬氧化物為氧化鈉、氧化鉀和氧化鋰中的一種或多種;硅片經(jīng)預(yù)處理后,依次沉積SiOx膜和SixNy膜,制成太陽(yáng)能電池硅片。本發(fā)明在氧化亞氮的純化過(guò)程中,通過(guò)在吸附除雜前對(duì)氧化亞氮原料氣進(jìn)行壓縮,并依次采用三種分子篩對(duì)原料氣進(jìn)行吸附除雜,將物理吸附與化學(xué)吸附相結(jié)合,能提高氧化亞氮的純度,用其對(duì)硅片進(jìn)行PECVD鍍膜,能獲得性能更好的太陽(yáng)能電池硅片。
聲明:
“高純氧化亞氮在制備太陽(yáng)能電池片中的應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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