本發(fā)明提供一種三維光波導(dǎo)調(diào)制結(jié)構(gòu)及其制備方法,其中,三維光波導(dǎo)調(diào)制結(jié)構(gòu)包括:襯底;位于所述襯底中的光波導(dǎo),所述光波導(dǎo)包括主傳輸光波導(dǎo)、過渡光波導(dǎo)和邊緣光波導(dǎo),所述過渡光波導(dǎo)連接所述主傳輸光波導(dǎo)和所述邊緣光波導(dǎo),所述主傳輸光波導(dǎo)和所述邊緣光波導(dǎo)在所述襯底中的深度不同;位于所述襯底一側(cè)表面的耦合波導(dǎo),所述耦合波導(dǎo)與所述主傳輸光波導(dǎo)相對(duì)設(shè)置,所述耦合波導(dǎo)至所述主傳輸光波導(dǎo)的距離小于所述耦合波導(dǎo)至所述邊緣光波導(dǎo)的距離;位于所述耦合波導(dǎo)背向所述襯底一側(cè)的鈮酸鋰膜。所述三維光波導(dǎo)調(diào)制結(jié)構(gòu)使光在光波導(dǎo)傳輸過程中損耗率降低。
聲明:
“三維光波導(dǎo)調(diào)制結(jié)構(gòu)及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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