在本發(fā)明中,制造
多晶硅時,一直使用下述的雜質(zhì)表面濃度的樹脂材料。以1重量%的硝酸水溶液作為提取液利用ICP質(zhì)譜分析法進行定量分析而得到的值是:磷(P)濃度為50pptw以下,砷(As)濃度為2pptw以下,硼(B)濃度為20pptw以下,鋁(Al)濃度為10pptw以下,鐵(Fe)、鉻(Cr)、鎳(Ni)、銅(Cu)、鈉(Na)、鋅(Zn)這6種元素的合計為80pptw以下,鋰(Li)、鉀(K)、鈣(Ca)、鈦(Ti)、錳(Mn)、鈷(Co)、鉬(Mo)、錫(Sn)、鎢(W)、鉛(Pb)這10種元素的合計為100pptw以下。
聲明:
“樹脂材料、乙烯樹脂制袋、多晶硅棒、多晶硅塊” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)