本發(fā)明公開了一種基于推挽式光子晶體拉鏈腔的單片集成三軸光學(xué)加速度計,本發(fā)明在鈮酸鋰單晶薄膜上集成入射單元,用于產(chǎn)生入射光;相位調(diào)制反饋單元,用于對入射光波進行調(diào)制得到調(diào)制光波并進行調(diào)頻反饋;X軸加速度敏感單元,用于探測X軸輸入加速度的大??;Y軸加速度敏感單元,用于探測Y軸輸入加速度的大?。籞軸加速度敏感單元,用于探測Z軸輸入加速度的大??;采用光子晶體拉鏈腔結(jié)構(gòu),同時實現(xiàn)大帶寬與高分辨率傳感;采用推挽結(jié)構(gòu)實現(xiàn)差分檢測,抑制了旁軸加速度帶來的干擾;采用微納波導(dǎo)將光耦合進入微腔的方案,使加速度傳感器更穩(wěn)定,實現(xiàn)三軸加速度傳感器的高精度、小型化與高集成。
聲明:
“基于推挽式光子晶體拉鏈腔的單片集成三軸光學(xué)加速度計” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)