在真空室(14)內(nèi)容納檢查對(duì)象的鋰離子電池(11)。在真空室(14)的上部連接有初始排氣配管(47)和檢查排氣配管(51)。經(jīng)由初始排氣配管(47)對(duì)真空室(14)內(nèi)進(jìn)行初始排氣而降低至檢查壓力(Pe)。之后,經(jīng)由檢查排氣配管(51)進(jìn)行檢查排氣。在檢查排氣配管(51)的中途連接有傳感器單元(16)。穿過(guò)檢查排氣配管(51)的排氣氣體從流入口向傳感器單元(16)的內(nèi)部流入,通過(guò)設(shè)置于內(nèi)部的噴嘴朝向氣體傳感器的傳感面垂直地流動(dòng)。排氣氣體穿過(guò)氣體傳感器的內(nèi)部而從排出口向傳感器單元(16)的外部排出。
聲明:
“傳感器單元及氣密性檢查裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)