本發(fā)明提供了一種微米級矩形波導(dǎo)的制備方法及系統(tǒng),保持待加工品與水平方向呈傾斜放置,且傾斜方向與金剛石刀片刀刃第一側(cè)邊傾斜方向垂直,保持金剛石刀片豎直方向切割,形成第一劃槽;將待加工品旋轉(zhuǎn),使其與水平方向呈傾斜放置,且放置方向與金剛石刀片刀刃第二側(cè)邊傾斜方向垂直,保持金剛石刀片豎直方向切割,形成第二劃槽,實現(xiàn)兩條劃槽中間的預(yù)留位置形成矩形波導(dǎo)。本發(fā)明不需要將微米級鈮酸鋰薄膜層切透,從而得到側(cè)壁光滑,易加工的矩形波導(dǎo)。
聲明:
“微米級矩形波導(dǎo)的制備方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)