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聲表面波增強型深紫外探測器及其制備方法

1014   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:18:35
一種聲表面波增強型深紫外探測器及其制備方法,所述聲表面波增強型深紫外探測器依次包括鈮酸鋰襯底、半導(dǎo)體薄膜及設(shè)置于所述半導(dǎo)體薄膜表面的兩對歐姆電極;所述兩對歐姆電極其一用于接收并傳播聲表面波并使其調(diào)制薄膜與襯底的能帶結(jié)構(gòu),以提高光生載流子的數(shù)量及傳輸效率,另一則用于收集光生載流子并轉(zhuǎn)化為電信號輸出,并接通外接參數(shù)分析儀評估探測器對于光輻射的響應(yīng)度、探測率等一系列性能指標。本發(fā)明的聲表面波增強型深紫外探測器能夠通過聲表面波的外部刺激顯著增強探測器的響應(yīng)度等一系列性能指標。
聲明:
“聲表面波增強型深紫外探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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