本發(fā)明涉及一種脊形波導(dǎo)制作方法,包括以下步驟:將晶片切割成特定尺寸的晶體;晶片為周期極化鈮酸鋰晶片;在晶體上切割出寬度為W,深度為H的波導(dǎo);切割后的晶體包括波導(dǎo)和底座;將基底切割成特定尺寸,在基底上切割出寬度大于W,深度大于H的凹槽;膠合基底和晶體,得到脊形波導(dǎo),膠合時,波導(dǎo)位于凹槽中;對底座進行拋光減薄,形成薄層;對脊形波導(dǎo)的端面進行拋光再鍍膜。本發(fā)明通過一個凹槽保護脊形波導(dǎo),然后反面拋光減薄,從而形成薄膜脊形波導(dǎo)。避免了離子注入建和帶來的結(jié)構(gòu)損傷等問題。
聲明:
“脊形波導(dǎo)制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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