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復(fù)合基板及使用其的彈性波器件

1149   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:10:12
本發(fā)明提供一種復(fù)合基板,其用于彈性表面波器件,耐熱性優(yōu)異。復(fù)合基板(10)具有:壓電基板(12),其由鉭酸鋰(LT)形成,能夠傳播彈性波;支持基板(14),其在方位(111)面通過(guò)有機(jī)粘合層粘合于上述壓電基板(12)的背面,其為熱膨脹系數(shù)小于所述壓電基板的硅制支持基板;粘合兩基板(12)、(14)的粘合層(16)。
聲明:
“復(fù)合基板及使用其的彈性波器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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