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高良品率加厚型單晶石英坩堝及其制備工藝

1111 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 00:06:26

本發(fā)明公開了高良品率加厚型單晶石英坩堝，包括坩堝本體和涂覆于坩堝本體內壁的碳化硅涂層與氮化硅涂層，所述坩堝本體包括以下原料：高純石英砂、粘接劑、偶聯劑、填料，所述高純石英砂是含有以下摻雜元素的二氧化硅材料：鋁、硼、鈣、鉻、鐵、鋰、鎂、釩、鎳、鈧、鎢。本發(fā)明將高純石英砂與粘接劑、填料和偶聯劑進行混合得到的石英坩堝具有較好的粘度，粘接劑能夠對高純石英砂進行改性處理，使得石英砂的表面孔隙增加與填料和偶聯劑進行混合，然后經過燒結處理后能夠使得石英砂的表面得到較好的粗化效果，石英坩堝的粘度效果更好，所以石英坩堝的抗變形效果更好，具有一定抗析晶的特性，從而能夠提高單晶硅生產時的成品率。

聲明：

“高良品率加厚型單晶石英坩堝及其制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)