本發(fā)明公開了一種基于斜指換能器的可變間距微結(jié)構(gòu)的制備裝置及方法。鈮酸鋰晶片上有一對(duì)斜指電極,中央布置有玻璃液槽;液態(tài)光敏預(yù)聚物置于玻璃液槽內(nèi);UV固化燈置于鈮酸鋰晶片下方。兩個(gè)斜指換能器上加振幅變化、具有相位差且相位差變化的激勵(lì)信號(hào),兩側(cè)激勵(lì)信號(hào)產(chǎn)生的聲表面波疊加到液態(tài)光敏預(yù)聚物,形成峰谷高度變化/峰線谷線變化的可調(diào)變間距微陣列結(jié)構(gòu),通過紫外光照射使其固化成形。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)快速、可調(diào)控地制造微陣列結(jié)構(gòu),具有操作簡便、生產(chǎn)效率高、結(jié)構(gòu)可調(diào)控等特點(diǎn)。
聲明:
“基于斜指換能器的可變間距微結(jié)構(gòu)的制備裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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