提供一種不易產(chǎn)生紋波的彈性波裝置。彈性波裝置(1)在包含硅的支承基板(2)上層疊有氧化硅膜(3)、鉭酸鋰膜(4)、IDT電極(5)以及保護膜(8),關于鉭酸鋰膜的波長標準化膜厚T
LT、歐拉角的θ
LT、氧化硅膜(3)的波長標準化膜厚T
S、換算為鋁的厚度的IDT電極(5)的波長標準化膜厚T
E、保護膜的波長標準化膜厚T
P、支承基板(2)的傳播方位ψ
Si、支承基板(2)的波長標準化膜厚T
Si的值,設定T
LT、θ
LT、T
S、T
E、T
P和ψ
Si,使得I
h大于?2.4,其中,I
h對應于關于雜散(A、B、C)的響應中的至少一個響應由下述的式(1)表示的雜散的響應的強度。
聲明:
“彈性波裝置、彈性波濾波器以及復合濾波器裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)