本發(fā)明公開的一種三光合一超寬波段高增透膜的制備方法,利用本方法可以實現(xiàn)可見光、近紅外和中紅外多個光學(xué)波段超寬范圍的高增透鍍膜的設(shè)計和鍍制。提高膜層的防潮性能和抗激光損傷能力,及野外惡劣環(huán)境的使用壽命。本發(fā)明通過下述技術(shù)方案予以實現(xiàn):(1)以氟化鋰或氟化鋇晶體材料為基底,用膜系設(shè)計公式G/4M6H2LM0.6L0.3M/A,計算每層膜的光學(xué)厚度值;(2)清潔被鍍基底;(3)溫烘烤基底;(4)用離子源在鍍膜前和鍍膜過程中轟擊基底;(5)將Al2O3,SiO和MgF2三種膜料放入旋轉(zhuǎn)電子槍蒸發(fā)源坩鍋中,根據(jù)上述(1)的公式順序和厚度值用光學(xué)真空鍍膜機完成鍍膜;(6)退火處理。本發(fā)明解決了在潮解軟晶體材料上鍍膜不牢的工藝難題。
聲明:
“三光合一超寬波段高增透膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)