一種微細(xì)加工技術(shù)領(lǐng)域的聲表面波驅(qū)動(dòng)的二維微光學(xué)平臺(tái)及其制造方法。本發(fā)明二維微光學(xué)平臺(tái)包括:基底、叉指換能器和滑動(dòng)鏡面,其中,基底是128°Y-X的鈮酸鋰單晶體,其上是相互交叉的叉指電極形成的叉指換能器,滑動(dòng)鏡面是活動(dòng)部件,它置于基底之上。本發(fā)明設(shè)計(jì)了四個(gè)關(guān)于微光學(xué)平臺(tái)中心相互對(duì)稱的叉指換能器,來(lái)實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)鏡面的二維平面驅(qū)動(dòng)?？梢酝ㄟ^(guò)調(diào)節(jié)加在四個(gè)IDT電極的射頻電源開(kāi)關(guān)來(lái)控制滑動(dòng)鏡面的左右、上下運(yùn)動(dòng)。方法步驟:①四個(gè)關(guān)于微光學(xué)平臺(tái)中心相互對(duì)稱的IDT加工;②滑動(dòng)鏡面的微加工。本發(fā)明整個(gè)加工過(guò)程完全可以通過(guò)基于半導(dǎo)體材料微制造方法來(lái)制作,平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)納米級(jí)。