本發(fā)明提出一種制備KTP非線性跑道型微環(huán)諧振器的方法,包括KTP晶片處理、離子注入、電子束曝光、后續(xù)處理、離子刻蝕處理及最后處理六個(gè)步驟,通過離子注入一道工序,就實(shí)現(xiàn)了與片上鈮酸鋰薄膜材料類似的薄膜狀波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的制備,生產(chǎn)流程大大簡(jiǎn)化,時(shí)間縮短,成本顯著降低,同時(shí),本發(fā)明最終制備的KTP非線性微環(huán)諧振器,與現(xiàn)存的鈮酸鋰非線性微環(huán)諧振器相比,具有更高的光損傷閾值,可將非線性變頻光的輸出功率,由微瓦提升至毫瓦量級(jí),并且適用于輸入和輸出的光信號(hào)均為脈沖激光的情形,而離子注入、電子束曝光、金屬蒸發(fā)沉積鍍膜、反應(yīng)離子刻蝕,均為相對(duì)成熟的微納加工技術(shù),使得本發(fā)明具有良好的可操作性性和可重復(fù)性。
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“制備KTP非線性跑道型微環(huán)諧振器的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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