本發(fā)明涉及一種橫向激勵(lì)剪切模式的聲學(xué)諧振器,包括:聲學(xué)鏡,包括至少一第一聲反射層和至少一第二聲反射層,各所述第一聲反射層的聲阻抗小于各所述第二聲反射層的聲阻抗;壓電層,設(shè)于所述聲學(xué)鏡上,所述壓電層包括單晶材料的鈮酸鋰和/或單晶材料的鉭酸鋰;電極單元,設(shè)于所述壓電層上,用于形成電場(chǎng);橫向反射器,設(shè)于所述壓電層上,包括位于所述電極單元的第一側(cè)的第一反射器和位于所述電極單元的第二側(cè)的第二反射器,所述第一側(cè)和第二側(cè)為相對(duì)側(cè),所述橫向反射器用于對(duì)聲波進(jìn)行橫向反射。本發(fā)明可以在3GHz以上的頻率下具有高機(jī)電耦合系數(shù)和高Q值。
聲明:
“橫向激勵(lì)剪切模式的聲學(xué)諧振器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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