2的全固態(tài)電解質(zhì)憶阻器及其制備方法,加工技術(shù)"> 2的全固態(tài)電解質(zhì)憶阻器及其制備方法,一種基于MoS2的全固態(tài)電解質(zhì)憶阻器及其制備方法,屬于電子制備工藝以及類腦計(jì)算領(lǐng)域,首先選用MoS2作為溝道材料,MoS2通過ALD和CVD相結(jié)合的方法來制備,選用鋰鹽作為固態(tài)電解質(zhì),使用磁控濺射的方法來制備固態(tài)電解質(zhì)層,使用電子束蒸發(fā)和磁控濺射等方法來制備電極。通過柵端電場調(diào)制鋰離子的嵌入和脫出改變二硫化鉬的能帶結(jié)構(gòu),同時(shí)源漏兩端施加讀取電壓得到溝道電導(dǎo)的變化,使得憶阻器件具有良好的電導(dǎo)更新線性度和更低的操作功耗,可以應(yīng)用于新一代神經(jīng)形態(tài)計(jì)算。利用上述的">
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