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微區(qū)電鍍裝置及其在制備聲表面波聲子晶體中的應用

1070 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 23:23:22

本發(fā)明提供了一種微區(qū)電鍍裝置及其在制備聲表面波聲子晶體中的應用。該裝置包括直流恒流源、電鍍槽、陽極板、電鍍液、溫控系統(tǒng)、攪拌系統(tǒng)、夾具及電鍍片。電鍍片上包括一個聲表面波聲子晶體區(qū)域及至少兩個陪鍍區(qū)域；陪鍍區(qū)域對稱分布在聲表面波聲子晶體區(qū)域的兩側。本發(fā)明采用電化學沉積(電鍍)法，可以精確制備基于多類單晶、多晶及非晶基底(如鈮酸鋰、鉭酸鋰、硅、二氧化硅、氮化鋁、氮化鎵、玻璃等)的金屬材料(如鎳、銅、金等)基的聲表面波聲子晶體。

聲明：

“微區(qū)電鍍裝置及其在制備聲表面波聲子晶體中的應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)