本發(fā)明公開了一種周期極化LNOI脊型波導(dǎo),整體結(jié)構(gòu)從基底自下而上包括:硅或鈮酸鋰基底(5)、二氧化硅緩沖層(4)、金電極層(3)、半導(dǎo)體有機高分子層(2)和周期極化鈮酸鋰脊型波導(dǎo)(6)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的技術(shù)效果包括:1)很大程度上降低了生產(chǎn)難度,提高了成品率;2)顯著降低了波導(dǎo)的傳輸損耗;3)使多功能光電子器件的集成更容易實現(xiàn);4)使器件獲得更多的非線性效應(yīng);5)實現(xiàn)了PP?LNOI波導(dǎo)和頻、差頻功能;6)為進(jìn)一步設(shè)計和制作實用化的頻率變換器件奠定基礎(chǔ),推動基于LNOI平臺的集成光路和器件向?qū)嵱没较蜻~進(jìn),為下一代光電混合集成
芯片的研發(fā)提供支撐。
聲明:
“周期極化LNOI脊型波導(dǎo)及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)