本發(fā)明提供一種研磨劑組合物,其中,在氧化物單晶材料基板的研磨中,抑制研磨時(shí)的載體鳴音并且能夠?qū)崿F(xiàn)研磨后的研磨表面的平坦性的提高和研磨速度的提高。一種研磨劑組合物,其用于對(duì)鉭酸鋰單晶材料或鈮酸鋰單晶材料進(jìn)行研磨加工,上述研磨劑組合物含有二氧化硅顆粒、水溶性高分子化合物和水,二氧化硅顆粒包含平均粒徑為10~60nm的小粒徑二氧化硅顆粒和平均粒徑為70~200nm的大粒徑二氧化硅顆粒,小粒徑二氧化硅顆粒的質(zhì)量相對(duì)于小粒徑二氧化硅顆粒和大粒徑二氧化硅顆粒的總計(jì)質(zhì)量的比例為50~95質(zhì)量%,水溶性高分子化合物由多糖類構(gòu)成。
聲明:
“研磨劑組合物” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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