本發(fā)明提供一種晶片夾持裝置。所述晶片夾持裝置包括基板、固定單元和解鎖機(jī)構(gòu),所述固定單元在所述基板的外周布設(shè)至少三個(gè),支撐晶片與所述基板之間保持一定距離h,所述基板的一側(cè)設(shè)有所述解鎖機(jī)構(gòu),另一側(cè)設(shè)有用于放置晶片的安裝空間;所述解鎖機(jī)構(gòu)相對(duì)于所述固定單元的一端位移運(yùn)動(dòng),使所述固定單元的另一端向所述安裝空間靠近夾持或遠(yuǎn)離松開。本發(fā)明克服晶片背面靜電吸力的影響,同時(shí)為靜電的的消除提供了途徑,解決了鋰酸鋰等晶片在注入工藝過程中產(chǎn)生靜電導(dǎo)致取片困難的問題。
聲明:
“晶片夾持裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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