本發(fā)明涉及聲波共振器、濾波器以及復(fù)用器。聲波共振器包括:壓電基板,該壓電基板是鉭酸鋰基板或鈮酸鋰基板且具有20μm或更小的厚度;支撐基板,該支撐基板具有與壓電基板的下表面結(jié)合的上表面,并且是主要由二氧化硅組成的玻璃基板;以及多個(gè)電極指,該多個(gè)電極指位于壓電基板的上表面上,激勵(lì)聲波,并且包括主要由Cr、Mo以及W中的至少一者組成的金屬膜。
聲明:
“聲波共振器、濾波器以及復(fù)用器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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