本發(fā)明涉及微晶玻璃的新用途,具體是,包括類晶體和玻璃質(zhì),類晶體以焦硅酸鋰作為主晶相,以從磷酸鋰(Li3PO4)、偏硅酸鋰(Li2SiO3)、二氧化硅(SiO2)和二氧化鋯(ZrO2)中選擇的至少一種晶相作為副晶相包含的微晶玻璃是其加工性優(yōu)良,抗等離子體腐蝕性突出而有利于干式蝕刻工藝用部件的制造。
聲明:
“具有抗等離子體腐蝕性的微晶玻璃及包括該微晶玻璃的干式蝕刻工藝部件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)