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金屬氧化物薄膜晶體管器件及其制作方法

759 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 23:19:15

本申請公開了一種金屬氧化物薄膜晶體管器件，所述金屬氧化物薄膜晶體管器件包括：基板；柵極，設置在所述基板上；絕緣層，沉積在所述柵極上；有源層，覆蓋于所述絕緣層上，所述有源層上設置有源極和漏極，所述有源層采用的材料為摻雜鋰元素的氧化鋅銦；封裝層，沉積于所述源極和所述漏極上，以將所述源極和漏極與外部絕緣隔離。本申請還公開了一種金屬氧化物薄膜晶體管器件的制作方法。本申請通過采用摻雜鋰元素的氧化鋅銦制備有源層，摻雜的鋰元素可以置換掉有源層中的鋅，降低了有源層的載流子濃度，提高了金屬氧化物TFT器件的性能。

聲明：

“金屬氧化物薄膜晶體管器件及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)