本發(fā)明的目的在于提供一種在具有近似于36度旋轉(zhuǎn)Y切割的切割角的鉭酸鋰基片上帶有電極膜的SAW裝置,該電極膜包括具有改進(jìn)功率耐久性的鋁單晶膜。SAW裝置在一個基片上帶有叉指型電極?;?8至44度旋轉(zhuǎn)Y切割鉭酸鋰單晶建造,每根叉指型電極包括一層鈦膜和一層形成在其上的鋁膜,并且鋁膜是僅在選擇區(qū)域電子衍射分析時產(chǎn)生斑點的單晶膜。
聲明:
“表面聲波裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)