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薄膜材料的剝離方法

1017   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:16:36
一種工藝過(guò)程,用來(lái)制作單晶鈮酸鋰薄膜或單晶鉭酸鋰薄膜材料。在進(jìn)行晶片鍵合后,利用離子注入造成損傷層的晶格強(qiáng)度降低,以及二氧化硅層與鈮酸鋰(鉭酸鋰)晶體熱膨脹系數(shù)的差別,選擇合適的熱處理過(guò)程,在晶片組內(nèi)部形成應(yīng)力,從而將薄膜剝離。采用此工藝過(guò)程可大大降低離子注入劑量,從而降低生產(chǎn)成本,提高薄膜質(zhì)量。
聲明:
“薄膜材料的剝離方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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