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聲波器件

924   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:15:14
一種聲波器件,該聲波器件包括:Y?切割X?傳播鉭酸鋰基板,所述Y?切割X?傳播鉭酸鋰基板具有20°或更大且48°或更小的切割角;以及格柵電極,所述格柵電極由層疊在基板上的一個(gè)或更多個(gè)金屬膜組成,并且激發(fā)聲波,其中,當(dāng)所述一個(gè)或更多個(gè)金屬膜中的各個(gè)金屬膜的密度由ρi表示,各個(gè)金屬膜的泊松比由Pi表示,各個(gè)金屬膜的膜厚度由hi表示,Cu的密度由ρ0表示,Cu的泊松比由P0表示,并且節(jié)距由λ表示時(shí),對于所述一個(gè)或更多個(gè)金屬膜,各個(gè)金屬膜的“(hi/λ)×(ρi/ρ0)×(Pi/P0)”的總值大于0.08。
聲明:
“聲波器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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