本發(fā)明提供一種用于制備復(fù)合晶圓的方法,其在包括具有低的熱膨脹系數(shù)的支撐襯底和在支撐襯底上堆疊的具有高的熱膨脹系數(shù)的鉭酸鋰薄膜的復(fù)合晶圓中,能夠減少由鉭酸鋰薄膜和支撐襯底之間的接合界面上的入射信號的反射引起的雜散。用于制備復(fù)合晶圓的方法是這樣的用于制備復(fù)合晶圓的方法:其通過將具有高的熱膨脹系數(shù)的鉭酸鋰晶圓粘合到具有低的熱膨脹系數(shù)的支撐晶圓上來制備復(fù)合晶圓,其中在粘合到一起之前,從鉭酸鋰晶圓和/或支撐晶圓的粘合表面注入離子,以干擾各個粘合表面附近的結(jié)晶度。
聲明:
“用于制備復(fù)合晶圓的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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