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三明治結構硅基薄膜材料及其制備方法和應用

965 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 23:15:13

一種三明治結構硅基薄膜材料，由金屬層、硅層和金屬層構成疊層三明治結構，金屬層薄膜的厚度為20-100nm、Si層薄膜的厚度為60nm-9.8μm；其制備方法是：采用金屬層的金屬靶、Si層的硅靶、金屬層的金屬靶交替濺射工藝，在基底上先制備金屬導電附著層薄膜，然后制備硅薄膜，最后在硅薄膜表面覆蓋金屬薄層，形成三明治結構。本發(fā)明的優(yōu)點是：三明治結構硅基薄膜用作鋰電池負極材料，有效抑制了硅基材料在鋰離子脫/嵌過程中較大的體積變化，具有較高的能量密度、循環(huán)穩(wěn)定性和倍率性能；該方法工藝簡單，成本較低，有望應用于高能、高功率的薄膜電池中。

聲明：

“三明治結構硅基薄膜材料及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)