本發(fā)明公開了一種用于馬赫曾德光調(diào)制器的晶片結構,包括鈦擴散鈮酸鋰條形波導、鈮酸鋰層、二氧化硅緩沖層、共面行波電極、硅基底和下電極層,鈦擴散鈮酸鋰條形波導安裝在鈮酸鋰層的下表面中央,硅基底的上表面覆蓋共面行波電極,共面行波電極共三個且其上表面覆蓋一層二氧化硅緩沖層,二氧化硅緩沖層共兩層且其兩層間安裝有鈮酸鋰層。
聲明:
“用于馬赫曾德光調(diào)制器的晶片結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)