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壓電性材料基板與支撐基板的接合體以及彈性波元件

673   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:11:38
在將由鈮酸鋰等形成的壓電性材料基板與設(shè)置有氧化硅層的支撐基板接合時(shí),提高接合體的特性。接合體(8、8A)具備:支撐基板(3);壓電性材料基板(1、1A),其由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰和鈮酸鋰?鉭酸鋰組成的組中的材質(zhì)形成;以及接合層(7),其將支撐基板和壓電性材料基板接合。接合層(7)的材質(zhì)為氧化硅。在將接合層(7)分為壓電性材料基板側(cè)接合部(7a)和支撐基板側(cè)接合部(7b)時(shí),壓電性材料基板側(cè)接合部(7a)中的氮濃度高于支撐基板側(cè)接合部(7b)中的氮濃度。
聲明:
“壓電性材料基板與支撐基板的接合體以及彈性波元件” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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