提供一種制造薄膜
鋰電池的方法,包括將陰極集電器、陰極材料、陽(yáng)極集電器、和隔開陰極材料與陽(yáng)極集電器的電解質(zhì)層施加到基板上,其中至少一層包含鋰化的化合物,通過(guò)光刻操作至少部分地圖案化該包含鋰化的化合物的至少一層,該光刻操作包括通過(guò)包括濕化學(xué)處理的工藝從包含鋰化的化合物的層去除光刻膠材料。另外,提供一種用于制備鋰電池的方法和設(shè)備,提供第一片材,包括具有陰極材料、陽(yáng)極材料、和隔開陰極材料與陽(yáng)極材料的LIPON/電解質(zhì)層的基板;去除第一材料的子部分以從第一片材分離多個(gè)電池單元。在一些實(shí)施例中,該方法進(jìn)一步包括在該片材上沉積第二材料以覆蓋多個(gè)電池單元;且去除第二材料的子部分以從第一片材分離多個(gè)電池單元。
聲明:
“用于固態(tài)微電池光刻制造、切單和鈍化的方法和設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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