本申請涉及體聲波諧振器技術(shù)領(lǐng)域,公開一種用于體聲波諧振器制作的方法,包括:提供襯底片,襯底片包括待移除層和在待移除層上形成的壓電層;壓電層由鈮酸鋰晶體或鉭酸鋰晶體制成;在壓電層遠(yuǎn)離待移除層的一側(cè)形成下電極結(jié)構(gòu);在下電極結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離壓電層的一側(cè)形成諧振載體;移除待移除層;在壓電層遠(yuǎn)離下電極結(jié)構(gòu)的一側(cè)形成上電極結(jié)構(gòu);在諧振載體、下電極結(jié)構(gòu)之間形成空腔。這樣,通過利用具有壓電特性的鈮酸鋰晶體或鉭酸鋰晶體作為壓電層,對壓電層進(jìn)行雙面制作形成的體聲波諧振器,從而能夠由具有壓電特性的鈮酸鋰晶體或鉭酸鋰晶體構(gòu)成的壓電層形成體聲波諧振器。本申請還公開一種體聲波諧振器、濾波器。
聲明:
“用于體聲波諧振器制作的方法、體聲波諧振器、濾波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)