本發(fā)明提供一種氟化鋰改性的鈦酸鋇基介質(zhì)薄膜及其制備方法,屬于電子材料與元器件領(lǐng)域。該介質(zhì)薄膜化學(xué)組成的化學(xué)通式為(1?y)Ba1?xRexTiO3?yLiF,其中0.005≤x≤0.02,0.0025≤y≤0.03,y為質(zhì)量分?jǐn)?shù),Re為L(zhǎng)a、Ce、Pr中的一種或兩種元素。采用溶膠凝膠法制備,分別配制Ba1?xRexTiO3和LiF前驅(qū)體溶液;通過分別旋涂、干燥、熱解、退火、擴(kuò)散,最終形成(1?y)Ba1?xRexTiO3?yLiF固溶體。本發(fā)明通過摻雜,并在制備時(shí)調(diào)節(jié)退火溫度、退火時(shí)間控制氟的揮發(fā),從而獲得溫度穩(wěn)定性好、耐擊穿強(qiáng)度高的介電薄膜。
聲明:
“氟化鋰改性的鈦酸鋇基介質(zhì)薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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