本實用新型公開了一種用于磷酸鐵鋰基于CVD工藝的加工設(shè)備，涉及CVD工藝加工設(shè)備領(lǐng)域，針對現(xiàn)有的加工設(shè)備存在的密封性差，極易混入空氣，影響產(chǎn)品質(zhì)量，存在CVD氣體泄漏風(fēng)險，存在安全隱患，無法進行CVD生產(chǎn)的問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括入口置換室，所述入口置換室側(cè)壁安裝有輥道窯體結(jié)構(gòu)，所述輥道窯體結(jié)構(gòu)包括升溫箱、恒溫箱、冷卻箱、CVD氣體打入管、冷卻水噴頭、輥道傳送帶和電加熱器，所述輥道窯體結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離入口置換室的一側(cè)安裝有出口置換室，所述輥道窯體結(jié)構(gòu)側(cè)壁安裝有固定結(jié)構(gòu)。本實用新型結(jié)構(gòu)新穎，且密封效果好，密封持久性強，生產(chǎn)安全可靠，節(jié)約使用成本，完成CVD包覆工藝，避免CVD包覆死角，優(yōu)化CVD包覆效果。