本發(fā)明屬于鋰離子固體電解質(zhì)薄膜制備方法,其特點是:制備過程如下: 采用遠位離子源濺射設備,調(diào)節(jié)靶材和基片間的距離,然后將濺射室抽真空, 接著通入N2和Ar至所需的真空室;調(diào)節(jié)等離子發(fā)生器產(chǎn)生等離子體,啟動牽 引電場將等離子體噴射到靶材表面,開始濺射固體電解質(zhì)薄膜。通過采用遠 位等離子濺射對靶材的均勻濺射,使被濺射材料更加均勻的沉積到基底上, 特別是在制備大面積薄膜的過程中可以很大程度的提高濺射成膜的均勻性; 遠位離子源濺射方法,使固體電解質(zhì)薄膜具有更好的均勻性、更高的靶材利 用率、更高的薄膜制備速度、更多的沉積調(diào)節(jié)參數(shù)可以調(diào)節(jié)膜層內(nèi)應力、適 合制備大面積固體電解質(zhì)薄膜,尤其適用于薄膜電池的工業(yè)化制備。
聲明:
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