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用離子注入和退火制備鈮酸鋰晶體波導的方法

853 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 22:40:06

本發(fā)明用離子注入和退火制備鈮酸鋰晶體波導的方法，至少應包含離子注入和電子束退火等步驟。采用能量1MeV～6MeV的C+，Cu+等離子注入，注入劑量在1×1013離子/平方厘米到5×1015離子/平方厘米范圍內(nèi)，在注入?yún)^(qū)內(nèi)造成折射率的改變，然后利用聚焦電子束或者激光束掃描，使掃描區(qū)的折射率增高，形成埋層或者溝道形式的光波導。光波導的導波模式可以由工藝參數(shù)控制。該方法的線寬可以達到納米量級?？梢灾瞥苫跅l形波導結(jié)構(gòu)的光器件和折射率光柵。

聲明：

“用離子注入和退火制備鈮酸鋰晶體波導的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)