本發(fā)明公開了一種可集成的全固態(tài)鋰離子薄膜 微電池正極的制備方法。方法如下:在
氧化鋁、氮化鋁、石英 或者表面氧化的硅片的襯底上采用磁控濺射法沉積一層Pt、Au 或Al用作集流電極,在集流電極與襯底之間沉積一層Ti、Co 或Cr用作過渡層;以層狀結(jié)構(gòu)LiCo1- xMxO2和尖晶石結(jié)構(gòu)LiMn2- xMxO4中所包含金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸 鹽、硝酸鹽或醋酸鹽為原料制備粉末前驅(qū)體,將粉末前驅(qū)體研 磨、圓餅壓制、分區(qū)段煅燒、爐冷得到脈沖激光沉積用靶材, 然后采用脈沖激光沉積法在金屬化的襯底上均勻沉積一層正 極薄膜。該發(fā)明得到的薄膜正極結(jié)合力好,電極性能好,易于 集成并且制備成本較低。
聲明:
“可集成的全固態(tài)鋰離子薄膜微電池正極的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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