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基于鈮酸鋰-氮化硅晶圓的光電單片集成系統(tǒng)

734 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 22:28:57

光電子集成技術作為發(fā)揮光子優(yōu)勢的重要技術手段，成為光通信、微波光子等領域的重要支撐技術。然而，現(xiàn)有光電子集成還處在單個芯片實現(xiàn)單種器件的水平，多種器件之間的互連成為極大的技術挑戰(zhàn)。本發(fā)明提出一種基于鈮酸鋰?氮化硅晶圓的光電單片集成系統(tǒng)，利用一種新型晶圓(鈮酸鋰?氮化硅晶圓)，實現(xiàn)了包括電光調(diào)制器、光子無源器件等在內(nèi)的多器件單片集成系統(tǒng)。該系統(tǒng)的制備具有硅基CMOS工藝兼容性，可以在多數(shù)芯片制造廠商的平臺上實現(xiàn)。并且該系統(tǒng)包含了電光調(diào)制、無源信號處理、光電探測在內(nèi)的多個功能模塊，可以滿足目前多數(shù)光電子系統(tǒng)的單片集成。

聲明：

“基于鈮酸鋰-氮化硅晶圓的光電單片集成系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)