本發(fā)明公開了一種用于全固態(tài)鋰離子電池電解質(zhì)膜的制備方法,包括如下步驟:提供Si襯底;制備Li
2O和TiO
2的混合物靶材,并在混合物靶材上貼敷La
2O
3片,在Si上沉積LiLaTiO層;以Li
3PO
4為靶材,利用反應磁控濺射,在LiLaTiO層上沉積第一LiPON層;以Li
3PO
4為靶材,利用反應磁控濺射,在第一LiPON層上沉積第二LiPON層;制備Li
3PO
4與Si
3N
4的第一混合物靶材;以Li
3PO
4與Si
3N
4的第一混合物靶材,利用磁控濺射,在第二LiPON層上沉積第一LiSiPON層;制備Li
3PO
4與Si
3N
4的第二混合物靶材;以及制備Li
3PO4與Si
3N
4的第二混合物靶材,利用磁控濺射,在第一LiPON層上沉積第二LiSiPON層。本發(fā)明通過晶格結(jié)構(gòu)的漸變設(shè)計,達到了較好的能帶結(jié)構(gòu),提高了材料電導率性能,最終能夠顯著提高全固態(tài)鋰離子電池的性能。
聲明:
“用于全固態(tài)鋰離子電池電解質(zhì)膜的制備方法及電解質(zhì)膜” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)