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鋰離子電池材料的連續(xù)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備

1060   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 22:10:49
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鋰離子電池材料的連續(xù)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備,要解決的技術(shù)問(wèn)題是精確控制包覆層的膜厚。本實(shí)用新型設(shè)有反應(yīng)室、傳動(dòng)裝置、沉積裝置,反應(yīng)室為可移動(dòng)裝置,傳動(dòng)裝置為傳輸帶循環(huán)式傳動(dòng)機(jī),整個(gè)傳動(dòng)裝置穿置于兩端為敞口的四周封閉的分別為預(yù)熱段、沉積段和降溫段的流程通道內(nèi)。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,采用傳動(dòng)裝置和可移動(dòng)式反應(yīng)室,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化學(xué)氣相沉積工藝,使反應(yīng)氣體可與粉狀基體的各個(gè)表面相觸,最終在其表面上形成均勻的結(jié)晶薄膜層,實(shí)現(xiàn)了對(duì)粉狀基體進(jìn)行包覆的加工工藝,工藝簡(jiǎn)單,容易精確控制包覆層的厚度,生產(chǎn)效率高,降低了鋰離子電池電極材料的最終成本,有效保護(hù)環(huán)境。
聲明:
“鋰離子電池材料的連續(xù)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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