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折返式補鋰設(shè)備

716   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 22:10:09
本實用新型涉及一種折返式補鋰設(shè)備,包括補鋰腔室及設(shè)于其內(nèi)的放卷裝置、收卷裝置、導(dǎo)向輪組、至少兩個靶材安裝機構(gòu)組及基片加熱機構(gòu);導(dǎo)向輪組包括第一、第二導(dǎo)向輪,第一導(dǎo)向輪用于導(dǎo)向且使基片上第一側(cè)表面的第一區(qū)域和第二區(qū)域相對設(shè)置,第二導(dǎo)向輪用于導(dǎo)向且使基片上第二側(cè)表面的第三區(qū)域和第四區(qū)域相對設(shè)置;各組內(nèi)的靶材安裝機構(gòu)的數(shù)量均為多個且沿基片的傳輸方向設(shè)置;其中有兩個靶材安裝機構(gòu)組分別設(shè)于基片的第一區(qū)域和第二區(qū)域之間的位置、第三區(qū)域和第四區(qū)域之間的位置;基片加熱機構(gòu)包括加熱安裝機構(gòu)及設(shè)于其上的加熱片,加熱安裝機構(gòu)設(shè)于各組內(nèi)的相鄰兩個靶材安裝機構(gòu)之間,加熱片用于對基片加熱。
聲明:
“折返式補鋰設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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