本發(fā)明公開了一種超大尺寸鈮酸鋰晶體的生長裝置和方法,包括鉑金坩堝和位于生長裝置內(nèi)的可以旋轉(zhuǎn)升降的籽晶桿;所述鉑金坩堝外包覆保溫層;所述保溫層上纏繞加熱線圈;所述籽晶桿穿過保溫層并深入鉑金坩堝中;所述鉑金坩堝的上方設(shè)有上窄下寬的水冷罩,所述水冷罩的內(nèi)部中空;所述水冷罩底端的寬度大于或等于鈮酸鋰晶體的直徑;所述籽晶桿貫穿水冷罩的正中央;所述水冷罩上分別設(shè)有進(jìn)水管和出水管,所述進(jìn)水管和出水管分別貫穿保溫層與外部連通;所述水冷罩上設(shè)有控制水冷罩上下移動的升降桿,所述升降桿貫穿保溫層。本發(fā)明能夠解決溶體對流緩慢,晶體生長界面處溫度梯度小等問題,適合8~12英寸晶圓的制備。
聲明:
“超大尺寸鈮酸鋰晶體的生長裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)