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在周期極化近化學(xué)劑量比鈮酸鋰上制備平面和條形波導(dǎo)的方法

903   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 22:02:41
在周期極化近化學(xué)劑量比鈮酸鋰晶體上制作平面和條形光波導(dǎo)的方法,屬于非線性光學(xué)晶體材料技術(shù)領(lǐng)域。制備方法如下:將已實(shí)現(xiàn)鐵電疇周期極化的z切的鈮酸鋰晶體切割成尺寸為10mm×10mm×1mm的樣品,對(duì)表面及相對(duì)兩個(gè)端面光學(xué)拋光;用酒精和丙酮清洗樣品,在樣品上甩涂BP218光刻膠,掩模板曝光,然后顯影、堅(jiān)膜,形成光刻膠的條形掩模;將樣品放在加速器靶室中,抽真空至10-4帕量級(jí),進(jìn)行輕離子或重離子注入;清洗光刻膠掩模,得到條形光波導(dǎo);對(duì)樣品光學(xué)拋光、清洗后直接進(jìn)行離子注入,即得到平面光波導(dǎo)。
聲明:
“在周期極化近化學(xué)劑量比鈮酸鋰上制備平面和條形波導(dǎo)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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