本文提供了用于鋰離子電池電極的納米結(jié)構(gòu)和制造方法。在一些實(shí)施方案中,提供了涂覆有硅基涂層的納米結(jié)構(gòu)模版。所述硅涂層可以包括非保形的較多孔的富硅SiE
x層和在所述非保形的較多孔層上的保形的較致密的SiE
x層。在一些實(shí)施方案中,使用兩種不同的沉積工藝:PECVD層以沉積非保形的富硅SiE
x層,和熱CVD工藝以沉積保形的層。富硅SiE
x材料可防止硅晶疇生長,限制宏觀膨脹,增加鋰擴(kuò)散速率并顯著提高鋰離子電池充電和放電循環(huán)期間的電池壽命。
聲明:
“用于鋰離子電池陽極的組成調(diào)整的硅涂層” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)