本發(fā)明公開(kāi)了一種鈮酸鋰波導(dǎo)的集成光子晶體光纖陀螺。本發(fā)明包括從下到上依次層疊布置的硅襯底、二氧化硅緩沖層和鈮酸鋰單晶薄膜,鈮酸鋰單晶薄膜在兩側(cè)分為第一臺(tái)階面和第二臺(tái)階面的兩個(gè)高度不同的臺(tái)階面;在第一臺(tái)階面上集成布置光傳輸系統(tǒng),在第二臺(tái)階面上集成布置諧振腔光路,光束在光傳輸系統(tǒng)和諧振腔光路中傳導(dǎo),實(shí)現(xiàn)光的低損耗諧振運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明的光纖陀螺集成度高,減少元件之間的相對(duì)位置誤差,使光學(xué)陀螺整體結(jié)構(gòu)更加緊湊,從而提高光纖陀螺的可靠性和環(huán)境適應(yīng)性;制作工藝流程簡(jiǎn)單,穩(wěn)定性高。
聲明:
“鈮酸鋰波導(dǎo)的集成光子晶體光纖陀螺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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