本實用新型公開了一種鉭酸鋰
芯片的研磨裝置,包括機臺,機臺上設(shè)有可轉(zhuǎn)動的下研磨盤,下研磨盤為圓形;下研磨盤上設(shè)有能轉(zhuǎn)動的上研磨盤,上研磨盤也為圓形,且直徑與下研磨盤一致;上研磨盤的轉(zhuǎn)動軸心與下研磨盤一致,但轉(zhuǎn)動方向相反;機臺還設(shè)有頻率監(jiān)測裝置,上研磨盤的上端面設(shè)有多個供頻率監(jiān)測裝置的探測頭伸入的通孔,頻率監(jiān)測裝置與驅(qū)動下研磨盤和上研磨盤的電機電氣連接。該實用新型的一種鉭酸鋰芯片的研磨裝置,能提高鉭酸鋰芯片的研磨的成品率,且加工成本低。
聲明:
“鉭酸鋰芯片的研磨裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)